ニコンは、ウェーハエッジ検査装置「WES-3000」シリーズを2008年12月3日に発売すると発表した。WES-3000は、ウェーハエッジの欠けや傷、プロセスで発生する膜のはがれや残留物といった欠陥を高速で検出し、高精細・高解像カラー画像で欠陥箇所を確認できる。価格は仕様によりことなるが、1億円からとしている。販売予定数は、初年度20台。

　WES-3000シリーズは、同社が長年培ってきた光学技術を結集し、ベベルのレビュー時分解能1μmを実現した。ラインCCDを搭載し、スキャンした画像データに対して、ニコン独自の画像処理技術を適用する。これらにより、300mmウェーハで毎時100枚の高速検査を実現した。また、デバイス特有の膜のはがれや残留物といった検出に時間・コストを要していた欠陥検出も、分解能4μmの高速インライン検査を実現した。さらにオプションとして、検査や血管の分類・分析に必要なアプリケーションの開発も進めているという。