東京エレクトロンは、2009年1月より300mmウェーハ対応枚葉式プラズマ酸化窒化処理装置「Trias SPAi」の受注を開始すると発表した。Trias SPAiは、既存の「Trias SPA」シリーズの最新製品で、市場ニーズに応えるかたちで高生産性、環境負荷低減に注力して開発された。

　Trias SPAシリーズはSPA(Slot Plane Antenna)プラズマ生成技術による高密度、低電子温度のプラズマを利用した低温かつダメージの少ないプラズマ処理技術を採用。今回のTrias SPAiでは同シリーズの特徴を継承しながら、スループットの向上、低消費電力によるCO2排出量削減、フットプリントの削減が可能となる。

　また、同社は、2008年12月より300mmウェーハ対応スクラバー洗浄装置「NS300＋」の販売を開始し、2009年4月より出荷を開始すると発表した。2流体スプレーと表裏面ブラシに加え、新たにベベルブラシと薬液対応（表裏面）が可能。独自に開発したベベルブラシは、近年の微細化に伴い顕在化しつつあるウェーハベベル部の汚れに対し、パターンダメージを最小限に抑えながら歩留まりの改善に寄与する。スループットは、表面処理で毎時最大320枚、両面処理で毎時最大240枚となっている。

　NS300+は、既存「NS300」の高性能化版であり、8台のスピンモジュールを搭載した。スループットは従来機比2倍を実現しながら、現行機とほぼ同等のフットプリントを実現した。さらに、搬送システムの信頼性およびデータ収集機能「Ingenio」を大幅に向上している。