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住友ベークライト、4大特性を兼ね備えた
半導体製造工場向け制電プレートを発売

[issued: 2008.04.30]

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 住友ベークライトは、半導体製造工場や液晶製造工場向けの制電プレート「サンロイドエレコンプレート ポリカーボネートタイプV-Oグレード」(品番:ECVN100)を発売した。制電性能、耐熱性、耐衝撃性能、難燃性の4大特性を兼ね備えた製品になっているとしている。参考価格は、3.0×1220×2440mmで1枚5万円。表面固有抵抗値 10 6〜8 Ω。販売目標額は、年1億円としている。

 半導体製造工場や液晶製造工場では、高いレベルのクリーン度が要求されており、現在は使用環境や用途に応じて硬質塩化ビニルタイプ(一般グレード、FMグレード)PETタイプ、ポリカーボネートタイプが使用されているという。住友ベークライトでは、全ての品揃えを行っており、ユーザーの要望に応じた材料の制電板を供給してきた。一般的にポリカーボネートタイプの制電板には、耐熱性、耐衝撃性に優れているが、UL規格ではHBグレードが一般的であるため、火災発生時の延焼防止が困難であったという。これを難燃剤の添加でV-0グレードにできるが、透明度が悪くなるなどの問題があり、さらには量産化が行えなかった。同社では、独自の配合技術とシーティング技術により、透明度、外観を損ねることなく、量産可能な、V-0グレードのポリカーボネート制電板の開発に成功した。同製品は、ポリカーボネート特有の耐衝撃性と耐熱性、高レベルのクリーン度に適した制電性能を持ち、万一の火災発生時に延焼を防ぐことが可能になっているという。


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