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Emerging Technologies
FinFETで アナログ・RFアプリケーションを実証
[2007年01月号]
45nmで固有ゲインが落ちるバルクデバイスと違って、FinFETは、より優れたショートチャンネル効果制御のため、より高い固有増幅を持つ。したがって、FinFET構造は高ゲイン演算増幅器に向いている。
他方、現在のFinFET技術による最大遮断周波数はわずか100GHzと、プレーナ型バルクCMOSのそれをほぼ3倍下回る。その原因は、フィンの直列抵抗とフィンの側壁における低いモビリティにある。このためFinFETは、5GHzまでのデバイスで優れた性能特性を見せ、それ以下の周波数ではなおのことプレーナ型トランジスタに比べて優れた性能を示す。
IMECシリコンプロセス・デバイス技術バイスプレジデントLuc Van de Hove氏は「45nmを超えるスケーリングでは、ゲート材料やデバイス構造など、プロセスモジュールの大幅変更を必要とする」、「競争力を維持するには、アナログ/RF性能について各種選択肢の可能性を早めに評価する必要がある」と述べた。
IMECは今後、モビリティを増大させ、さらに比較的大きい直列抵抗とゲート及びドレイン間の外因性キャパシタンスを減らすことにより、FinFETの速度向上に力を注ぐとしている。
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