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1月号 New Products
[2007年01月号]Process
●i線スキャン露光装置 NSR-SF150
連絡先:ニコン www.nikon.co.jp
●65nm対応フォトマスク欠陥検査装置 MATRICS シリーズ
連絡先:レーザーテック www.lasertec.co.jp
●300mm対応枚葉式ウェーハ洗浄装置 SU-3100
連絡先:大日本スクリーン製造 www.screen.co.jp
●300mm対応バッチ式ウェーハ洗浄装置 EXPEDIUS+
連絡先:東京エレクトロン www.tel.com
●ウェーハエッジクリーニング装置 Habanero
連絡先:東京精密 www.accretech.jp
●SMIFポッド自動洗浄装置 UPC-8350
連絡先:ヒューグルエレクトロニクス www.hugle.co.jp
連絡先:ニコン www.nikon.co.jp
●65nm対応フォトマスク欠陥検査装置 MATRICS シリーズ
連絡先:レーザーテック www.lasertec.co.jp
●300mm対応枚葉式ウェーハ洗浄装置 SU-3100
連絡先:大日本スクリーン製造 www.screen.co.jp
●300mm対応バッチ式ウェーハ洗浄装置 EXPEDIUS+
連絡先:東京エレクトロン www.tel.com
●ウェーハエッジクリーニング装置 Habanero
連絡先:東京精密 www.accretech.jp
●SMIFポッド自動洗浄装置 UPC-8350
連絡先:ヒューグルエレクトロニクス www.hugle.co.jp
Metrology and Inspection
●メモリーテストシステム T5383
連絡先:アドバンテスト www.advantest.co.jp
●300mm 対応のウェーハプローバ Precio
連絡先:東京エレクトロン www.tel.com
●HYT真空中In-situパーティクルモニタ Model9020
連絡先:川商エレクトロニクス www.kawashoelec.co.jp/
連絡先:アドバンテスト www.advantest.co.jp
●300mm 対応のウェーハプローバ Precio
連絡先:東京エレクトロン www.tel.com
●HYT真空中In-situパーティクルモニタ Model9020
連絡先:川商エレクトロニクス www.kawashoelec.co.jp/
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『太陽電池を輝かせる製造技術~究極のエコ技術の現在と未来~』
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?Double Patterningか?直描か?」
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?装置とプロセスをどう制御するのか??」
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2008年12月03日ー2007年12月03日
東京コンファレンスセンター・品川(東京・品川) -
航空宇宙産業技術展2008(AITEC 2008)
2008年11月27日ー2007年11月29日
名古屋市国際展示場(ポートメッセ名古屋) -
計測展2008 OSAKA
2008年11月26日ー2007年11月28日
大阪国際会議場(グランキューブ大阪)










