2007年2月号


Cover Story

45nmへ向けた 分光エリプソメトリ膜厚測定

分光エリプソメトリは膜厚モニタリングのための選ばれた技術であり、今後も65nmや45nmなどのテクノロジーノードに向け、ますます複雑になる測定技術の要求にも応えていくだろう。


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