●第10世代LCDガラス基板対応の搬送用ロボット SR8882
連絡先：日本電産サンキョー www.nidec-sankyo.co.jp
●ArF リソグラフィ対応ヘイズ欠陥低減ソリューション Clariliteシリーズ
連絡先：米Entegris社 www.entegris.com
MAGAZINE ARTICLES
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5月号 New Products
[2007年05月号]
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Process
●LCD用露光装置 FX-903N
連絡先：ニコン www.nikon.co.jp
●エッチング装置 Applied Centura Mariana Trench Etch
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
●PECVD装置 VECTOR Express
連絡先：米Novellus Systems社 www.novellus.com
連絡先：ニコン www.nikon.co.jp
●エッチング装置 Applied Centura Mariana Trench Etch
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
●PECVD装置 VECTOR Express
連絡先：米Novellus Systems社 www.novellus.com
Metrology and Inspection
●パラメトリックテスター Agilent 4080
連絡先：アジレント・テクノロジー www.agilent.com/go/home:jp
●マスク用CD測定装置 Vistec LWM9045
連絡先：独Vistec Semiconductor Systems社 www.vistec-semi.com
連絡先：アジレント・テクノロジー www.agilent.com/go/home:jp
●マスク用CD測定装置 Vistec LWM9045
連絡先：独Vistec Semiconductor Systems社 www.vistec-semi.com
Facility
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金属材料のマグネトロンスパッタリングにおけるアーク抑制
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2008年11月27日ー2007年11月29日
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