韓国Hynix Semiconductor社とベルギーIMECは、32nm以降のメモリープロセス開発のため、HynixがIMECのプログラムに参加することで合意した。HynixとIMECは、液浸やEUVなどの先端リソグラフィ研究開発プログラム、および不揮発性メモリーの研究開発プログラムでの共同研究を行う。

　Hynixの研究者のチームはこの6月からIMECに駐在する予定。32nmおよびそれ以降のDRAMおよびフラッシュメモリーのプロセス製造における、基礎的理解や堅牢なソリューションの開発を目指す。なお、今回Hynixが加わることで、エルピーダメモリ、米Micron Technology社、独Qimonda社、韓国Samsung Electronics社といったメモリーメーカー5社が、IMECでの32nm以降へ向けたIMECのCMOS研究開発プラットフォームに参加することになる。

（本誌）