トップハット ホモジナイザーは、独LIMO社のビーム整形・強度均一化オプティクスで、日本レーザーが販売代理店契約を締結し2007年8月より販売を開始した。同製品は、レーザー発振器から入射したレーザー光を均一な強度分布を持った矩形あるいはライン状に整形して出力する。入射レーザー光の横モード品質に応じて、位相シフトまたは分割スーパーインポーズを行うことにより、ビーム整形と強度均一化を非常に高い効率で行うことができる。これにより、スループット向上と加工深さなど、レーザー加工プロセスにおける品質向上が実現する。
　深紫外から近赤外の各種波長に対応し、また、さまざまな出力形状を実現した製品をラインナップ。さらに、ビーム整形形状・波長・動作距離・出力ビーム形状などの各種カスタマイズも可能となっている。ガウシアン-トップハットコンバータは、出力ビーム形状が正方形（60〜180μm）で出力均一度は±10％以内（典型値5％）、ビーム透過率は97％以上となっている。
連絡先：日本レーザー
www.japanlaser.jp

　XLR 600iは、90WのArF（193nm）露光装置用のレーザー光源。ArFレーザー光源では、初めて出力90Wに到達し、液浸およびダブルパターニングリソグラフィに適用することで32nmプロセス以降に対応する。同製品は、Cymerが有するデュアルチャンバ技術を継承し、光学系性能を安定させることで繰り返し周波数を6kHzへと向上させた。これにより、運営コストを削減しながら、出力を90Wに増加させたことでスループットも向上する。また、今回新たにウェーハレベルのプロセス制御が可能になるABS（Advanced Bandwidth Stabilization）技術を搭載した。消耗ガスの充填サイクルを10倍以上延長した、GLX（Gas Lifetime Extension）技術も開発、稼働時間を延長し製品の総生産量の増加にも寄与する。
連絡先：米Cymer社
www.cymer.com

　Electro-Damp PZTは、半導体製造装置のステージなどに用いられる振動除去装置。同社のアクティブ型ピエゾ振動除去装置「STACIS」とアクティブ型のエアーマウント装置「Electro-Damp」を組み合わせ、高精度の振動除去システムを完成させた。STACISはピエゾ素子と硬度のサスペンションおよびElectro-Dampはアクティブで内部ダンプにより振動からステージを孤立させることができる。
連絡先：米Technical Manufacturing Corporation（TMC）社
www.techmfg.com