IC China 2007のShanghai盛美半導体設備(Sheng Mei Ban Dao Ti She Bei)のブースでは、装置は展示されなかったものの、独自の技術は来場者の注目を集めた。

　米ACM Research社は1998年に設立され、2006年9月に上海創業投資(Shanghai Chuang Ye)との合弁によって盛美半導体設備を設立した。Cuめっき、Cu研磨、洗浄の3つの製品分野で、技術研究開発、工程、製造、市場、販売、サービスが一体となったソリューションを中国ユーザーに提供している。ACM上海の技術アドバイザー王儒全氏によると、現在ACMは100数項目の国際特許を申請しており、うち半数が関連機関で認可されている。

　ACMは主に、300mmおよび200mmウェーハのCu配線技術に用いるCuめっきCMP装置およびSiスライス洗浄装置などのウェット工程対応の装置開発を行なっている。ACMの低圧研磨とCu電解めっき技術は次世代のCu/Ultra Low-kインテグレーションに有効なソリューションを提供している。

　会場の技術スタッフによると、ACMの無応力研磨技術（SFP）を採用した装置「ACM Ultra SFP」は研磨パッドと研磨剤が不要で、研磨液を循環利用できる。また、その独自のマルチコンセントリックリング独立陽極システムが、複数の陽極を個別に制御し、従来のCuめっきによるエッジ効果の問題を克服している。

　湖南晶鴻微電子(Hu Nan Jing Hong Wei Dian Zi)の5インチIGBT（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）、VDMOS（縦型二重拡散MOS）チップおよびSi太陽電池の生産プロジェクトが、このほど湖南省衡陽市のハイテク区で着工した。同プロジェクトの一期工事の投資総額は1.5億元に上る。

　晶鴻微電子の5インチチッププロジェクトでは主に新型の電子デバイスが生産される。このデバイスは高周波、高圧、大電流などの特性が一体となったもので、省エネ、機能駆動効果が顕著であり、高周波溶接機、インバータ電源電圧安定器、自動車電子、周波数変換空調、省エネライトと整流器、ノートPCと無停電電源、電気機関車とNC施盤、通信および国防科学技術などの分野で幅広く応用できる。

　独Infineon Technologies社は、中国無錫にある新工場の操業を開始した。同社は中国での生産能力の強化を通じ、スマートカードモジュールとディスクリートデバイス市場のさらなる拡大を目指す。無錫工場が稼動すれば、2009年までにディスクリートデバイスの年間生産能力は100億チップとなり、スマートカードモジュールの年間生産能力は9億チップに拡大する見通し。

　無錫工場は1996年に設立され、主にスマートカードモジュールやディスクリートデバイスの生産を行っている。同工場の生産能力は年々上昇し、2007年7月にはディスクリートデバイスの年間年生産能力が32億チップ、スマートカードモジュールの年間生産能力が8億チップとなっている。

　発展過程において常に最新の生産工法と技術を導入され、2005年からは業界で最先端のFCOS（Flip Chip On Substrate）スマートカードの組立技術を採用している。これは、モジュールの中のチップカードICを設置したり、または逆に入れたりする業界初の実装方式である。従来のワイヤーボンディング技術に比べ、FCOS技術はより高い機械安定性、より小さく薄いモジュールサイズ、より強い防腐性と剛性を実現した。また非ハロゲン素材を採用し、グリーン環境保護要求もクリアしている。

　現在、世界の半導体メーカーの中で、このFCOSスマートカードモジュールの生産技術を持っているのは、Infineonのみである。2007年7月の時点で、7本のFCOS生産ラインが無錫で操業を開始した。

　上広電集団は、第6世代対応のLCDパネル生産ラインの建設を計画している。上広電集団には現在、国内第一号の第5世代LCDパネル生産ラインがあり、これはNECと合弁で建設したものである。さらに、京東方公司(Jing Dong Fang Gong Si)、龍騰光電(Long Teng Guang Dian)との「三社合弁」計画も進められ、2007年9月末にも統合計画が完成する見通しである。

　上広電集団は、上海パネルディスプレイ工業パーク(上海平板示工業園：Shanghai Ping Ban Xian Shi Gong Ye Yuan)が国家クラス工業パークにグレードアップすれば、より多くの優遇と政府の援助を受けられるようになると述べている。2005年11月に閔行区閔庄工業区に建設された上海パネルディスプレイ産業拠点は、敷地面積が2.2km2で、このほか約2.5km2が発展予備地として残され、「第11次5ヵ年計画」期間の投資額は累計で60億ドルとなる見通し、うち外資投資額は25億ドルで、年間生産規模は100億ドルを超えると予想される。

　現在、産業拠点内の上広電NEC液晶顕示器(Shanghai Guang Dian NEC Xian Shi Qi)の主要製品である15型LCDパネルの世界シェアは45%を超える。このほか、上広電と日本電気硝子（NEG）との合弁によるLCD用ガラス基板プロジェクト、また、富士フイルムとの合弁による第5世代LCD用カラーフィルタなどの上流セットプロジェクトが、同拠点において相次いで操業を開始する予定である。