Metrology and Inspection

[2007年11月号]

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●システムソースメーター

 2635型および2636型は、米Keithley Instruments社「2600シリーズシステムソースメーター」の新製品。2635型は1チャンネル、2636型は2チャンネルの測定チャンネルを備えている。それぞれ、89mm×213mm×460mmの筐体にソースメジャーユニットとデジタルマルチメーター、バイアスソース、低周波パルスジェネレータ、任意波形発生器、デジタルI/Oを統合している。両製品とも半導体などの分野で必要な1fA(10-15A)の測定分解能を達成しており、IV特性をはじめとする特性測定を高精度で行うことが可能である。デジタルI/Oによりプローバやハンドラなどの外部装置を直接制御することができ、複数のチャンネルと測定器を利用した高速自動試験を実行でき、従来のシーケンス型の測定器と比べて試験時間を1/10、部品試験を1/2〜1/4に短縮ことができる。

 価格は、2635型が118万9000円、2636型が195万9000円。

連絡先:米Keithley Instruments社
www.keithley.com



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