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Cover Story
32nmに対応する多層配線向け計測技術
現在の検査・測定技術は、より微細なノードに向けて展開していくのに十分な能力をそなえているように見える。しかし、堅牢なモデリング技術の適用、高度な形状・界面の制御技術などに対する要求が厳しくなってきているのも確かだ。いくつかの検査・測定装置はすでに能力の限界に近づいてきており、新規の革新的な技術が必要とされているようだ。
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