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WAFER PROCESSING
自社研究開発期間とコストを大幅に削減するワークフロー
[2007年12月号]
写真1 Tempusにより、1枚のウェーハ上にシャッタリングを行うことで複数のレシピの異なるプロセスを適用したウェーハ
ハードウェアでは、HPC技術を採用した「Tempus」を製品化。Tempus HPC プラットフォームには、セルフアセンブリや表面処理と洗浄処理、無電解めっきなどのウェットプロセス用の「Fluids Line」と、不揮発性メモリー、High-k /メタルゲート、配線工程などの成膜用の「Physical Vapor Deposition (PVD) Line」をラインナップしている。
Tempusプラットフォームは、1枚のウェーハ上にマスキングとシャッタリングにより最高576の異なった材料、異なったレシピを適用できる(Tempus F-20)。これにより材料のスクリーニングやプロセスインテグレーションの開発など、量産装置では一回ずつ設定条件を変えていた作業が一度にできるようになっている(写真1)。さらに同社は、専門チームとの共同開発プログラム(CDP:Collaborative Development Programs)やIPライセンスの取得など、R&D 活動を広範囲にサポートする。
Tempusを用いた開発手法では、特に材料のスクリーニングで効果を発揮することができる。材料の発見からプロセスの開発、そのプロセスのインテグレーション、そして完成したデバイスの電気的特性や品質評価など、今でも半導体メーカーや研究機関は膨大な時間とコストをこのスクリーニングに投じている。Tempusと同社の実行解析のソリューションとなるインフォマティックスにより、テストチップのパターンや構成の設定からスクリーニング、300mmウェーハへの拡張、テストレシピおよびテストパターンによる計測、そして電気的特性のテスト、さらにはそれらの解析とレポーティングまでが提供される。同社は、独自のインフラを有しており、これにより材料の情報からプロセス解析まで、自動で統合設定され解析されることになる。
ATMIと契約、次世代半導体材料の開発を加速
写真2 Intermolecular CEO David Lazovsky氏(左) ATMI Senior Vice President and General Manager Tod Higinbotham 氏(右)
すでに300mmウェーハが当たり前の時代となっても、高価なウェーハを無駄にすることはできない。今までの研究開発の現場と比較するのは難しいが、ワークフロー化されていなかった場合は、材料のスクリーニングには300mmウェーハ1000枚以上、薬液コストも1000ドル以上が投じられていた。Intermolecularが行ったプロジェクトでは、3週間半の期間にウェーハ16枚を消費したが、実験数は1320以上、3630材料の特性を評価できた。この研究全体にかかった薬液のコストは100ドル以下だったという。
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