測定、分析、そしてコントロールにおいて、
さらに高い生産性を生み出す企業−インフィコン

　インフィコンは、お客様のビジネス上の重大な課題を理解し、そこから得た知識を革新的製品や統合型ソリューションに展開し、生産性、品質、およびセキュリティを向上させることにより、お客様のパートナーとなるべく努力しております。

ニーズを満たしてすぐれたプロセスコントロールを実現

　インフィコンのテクノロジーソリューションおよびプロセスに関する専門知識は、半導体の製造において緊急課題となっているコストならびに生産性の改善に焦点を合わせています。お客様がエンドユーザーであるかOEMであるかを問わず、当社はお客様のニーズを見据え、市場をリードするIn-Situ測定、プロセスコントロールハードウェア/ソフトウェア、高性能リークディテクタ、真空測定装置、および真空コンポーネントを駆使して、お客様の製造を分析、コントロール、および改善いたします。

　インフィコンの統合型プロセス計測およびコントロールシステムには、質量ガス分析計などの先進のセンサ、およびパーティクル/フォトレジストディテクタなどがあります。例えば、Stiletto®パーティクルディテクタは、各ウェーハをIn-Situモニタリングしてサブミクロンのパーティクルを検出することにより、欠陥に起因する歩留り損を、改善いたします。

　統合型プロセス計測（IPM）システムでは、FabGuard®センサ統合および分析システムを採用し、In-Situセンサおよびツール自身から取得したすべてのデータを収集および分析します。リアルタイムでプロセスコントロールならびに故障検出を実行できるため、生産性を向上させる新たな展望が生まれます。

　UL5000およびUL1000 Fabなど、インフィコンのヘリウムリークディテクタは、最も厳格で要求の高いリーク検出用途にも対応します。リークディテクタの速度と信頼性についての標準を確立した、これら高感度の製品は、あらゆる測定レンジにおいてフレキシブルなテスト能力を発揮します。

　インフィコンの真空計は、すべての真空レンジを通じて、正確な圧力測定とコントロールを実現します。当社のセラミックキャパシタンスダイアフラムゲージは、従来の金属技術と比較して、精度、安定性、および寿命が向上しています。また、そのほかのコンビネーション真空計は、1台のユニットに複数の技術を組み合わせることにより、複雑さとコストを低減する一方で、幅広い圧力レンジを正確に測定します。