AFMのリーディング・カンパニー　
最小のTMUを目指して

　ビーコはデータストレージ用イオンビーム製膜・エッチング装置、化合物半導体用MBEなどの製造装置を取り扱っています。一方、有機ELやバイオなど様々な用途に対応可能なAFM、MEMS向けに脚光を浴びているWyko光学プロファイラなどの計測製品を取り扱っている事でも知られています。特にビーコはAFMの代名詞と語られるほどの抜群の知名度を誇っています。

　半導体分野では、全自動AFMのパイオニアとして累計400台以上の納入実績を誇り、日々改善に努力しています。

　従来、半導体測定装置では精度のみが重要視されてきましたが、最近は機差、サンプリング、正確性も考慮したTMU（Total Measurement Uncertainty）が議論されるようになってきました。45nmノード以降では現在のCD-SEMやスキャットロメトリなどのインライン測定は正確性の問題に直面しています。微細化が進むに連れて測定正確性の重要性はますます高まっており、ITRSロードマップ最新版でもTMUは大きくクロースアップされています。

　そうした要求に応え、ビーコは5年ぶりにフルモデルチェンジした全自動AFM、InSight 3DAFMを市場に投入します。当社従来機三倍のスループット、二倍の精度・正確性の向上を実現し、45nmノード以降での生産現場で耐えうる仕様を備えるビーコの新しいInSight 3DAFMによりCD測定で最小のTMU実現が可能となります。

　InSight 3DAFMは、45nm、32nmノードのゲートやフィンゲートのCD、SWA、LWRなどの測定要求に応えるためにプラットフォームを一新しています。高精度XYステージ、パターン認識、オートフォーカスなど周辺ハードウエアの改善、新しいAFM制御機構、新チップ・デザインによる精度向上、低摩耗可、微細構造測定可などによりそれを可能にしました。


　セミコン・ジャパンにて、上記新製品のご説明を差し上げますので、お気軽に当社ブースにお越しくださいませ。ブースNo:4B-201

　また、詳細は、当社ウェブサイト http://www.veeco.co.jp　をご覧下さい。

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日本ビーコ株式会社 計測機器2部
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