AMATが200ｍｍ装置製造ラインを移設

[2008年07月号]

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図　今後2年間、200mmウェーハには安定した需要があると予想される
（出典：米Freescale Semiconductor社）（米Gartner社のファブデータベースQ307、米iSuppli社のファウンドリトラッカー Q107公表、Strategy Projections（戦略予測）、およびITRSロードマップのデータに基づく）

　米Applied Materials（AMAT）社は米テキサス州オースティンに200mm専用の製造ラインを設立し、新規と中古両方の200mm装置を生産する製造センターとした。

　米Applied Global Services（AGS）社のMTS（Mature Tech-nology Solutions）部門ジェネラルマネージャの Curtis Vass氏によると、同社はそれ以前、エッチング、CVD、PVDなど異なる製品グループを、200mmと300mm両方の装置を含む専用ラインに設けていたという。しかし、去年の夏、同社はTodd Campbell氏の下で、全ての200mm製造をオースティンにある200mm専用の製造作業施設に移設し始めた。

　この移設に伴い、Vass氏が「今や本当に一体化した」と表現する、AMATの施設の改築や内部移動が行われ、200mm装置専用の製造組織ができた。

　「目標は、しっかりとした経験を持つ人を集めて、高品質の200mm装置に対する顧客の短納期要求にAMATが応えられるようにすること。新規と中古の装置が同じ課程をふむようにするのが目的だ。適切なスケールメリットを得られるよう、効率アップのため行った」とVass氏は述べた。

　AMATは、その中古装置ビジネスの価値について公式には情報提供しない。旧ファブのグレードアップに関する最近のSEMI主催のイベントで、参加者たちは中古装置市場を約20億ドルと見積もった。同氏は、同社が1995年に中古装置ビジネスに参入してから、約1000台の中古装置を出荷したと述べた。

　「関心のある企業は多い」と同氏は言う。200mmから300mmへの転換計画をロジックおよびメモリーメーカーが公式発表したことも一因だ。AMATは同社の200mm装置を買い戻し、改造する。しばしば、汚染対策や加熱・冷却システムをグレードアップさせた後、ほとんどの場合、200mmの生産能力を増強している他の顧客に装置を転売するのである。

　また、パワーIC、アナログ部品、MEMSデバイスといった製品を、150mmから200mmに転換して生産する好機を見出している顧客もいる、とVass氏は述べた。「特定のアプリケーションでは、これまで、顧客が200mmに移行しようと思ってもコストがネックになる場合があった。しかし、150mmから200mmラインへの移行は以前より容易になるだろう」と同氏は述べた。

　「More than Moore」のインテグレーション技術から新たなニーズが生まれ、それはしばしば200mmで見られる。たとえば、ハイブリッド車のパワーICに必要なエピタキシャル厚膜の成膜を行うなど、新しいビジネスチャンスのために200mm装置を買っている顧客もいるのだ。

　現在は中国が200mm装置需要の大部分を占めると思われているが、中古200mm装置に対する現在の需要は「世界中に均等に広がっている」とVass氏は述べた。

　中古装置市場には、AMATなど装置のオリジナルメーカーと、さまざまなメーカーの装置を改造する多くのサードパーティベンダーの両者が存在する。これからも新規装置として製造される装置もあるが、AMATのイオン注入装置のような製造中止の装置は、中古装置としてのみ売られているのだ。

（Semiconductor International, David Lammers）