MEMS Innovator

3軸加速度センサー

[2008年07月号]

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 H25CDは、ピエゾ抵抗型で樹脂パッケージを採用した小型の3軸加速度センサー。
 樹脂パッケージでは従来困難とされていた、モールド樹脂などの大きな外部応力によるセンサー特性への影響を、独自の素子構造により排除し、安定したセンサー特性を実現した。サイズは、2.5mm×2.5mm×1.0mm、耐衝撃性は20,000g以上を実現した。小型化と高い耐衝撃性の実現により、高密度実装が要求される携帯端末機器などへの搭載が見込まれるとしている。

連絡先:日立金属株式会社
www.hitachi-metals.co.jp

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