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国内初の統合型
MEMS用設計・解析支援システム
[2008年07月号]
開発は、日本ユニシス・エクセリューションズが全体を統合管理するGUI環境の「フレームワークソフト」を、みずほ情報総研が「機構解析シミュレータ」、「プロセス解析シミュレータ」、「ウェットエッチング解析シミュレータ」、「ナノインプリント解析シミュレータ」を、数理システムが「プロセス逆問題解析ソフト」、「MEMS回路シミュレータ」を担当した。また、マイクロマシンセンターが開発した「知識データベース」と「材料プロセスデータベース」が活用でき、MEMSプロセスに精通していない技術者でも、設計から試作評価までをカバーできる。製品の基本構成は「フレームワークソフト」、構造・機構、電磁場、熱伝導などの数値解析を行う「機構解析シミュレータ」、MEMS加工プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析シミュレータ」および「ウェットエッチング解析シミュレータ」とデータベースで、その他のソフトはオプションとして提供する。
みずほ情報総研、日本ユニシス・エクセリューションズ、数理システムが民間企業向けへの販売展開を進め、大学・公的研究機関向けには財団法人マイクロマシンセンターが頒布を行い、今後3年間で合計1,000ライセンスの普及を目指す。価格は、現在主流となっている海外製ソフトウエアの3分の1〜5分の1に設定。みずほ情報総研では、基本構成の初年度ライセンス価格を400〜500万円、2年目以降の継続ラインセンス価格を70万円としている。
連絡先:みずほ情報総研株式会社
www.mizuho-ir.co.jp
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