PEGASUS / FPSM2Dはプラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツール「PEGASUS」により得られた基板表面へ入射する様々な粒子種の角度分布、エネルギー分布を用いて、微細領域における表面形状の経時変化を計算するソフトウェア。モンテカルロ法を用いたセル法による計算で、様々な基板形状、様々な物理・化学反応の取り扱いが可能。PEGASUSからの出力結果が使用可能で、入射角度分布、エネルギー分布を使用者が定義する必要がなくなっている。PEGASUSを使用しないときは、指定された各種入射角度分布、エネルギー分布を用いて計算する。反応確率は定数のみではなく、固層壁への入射角度、エネルギーに依存したモデルで計算する。適用例としては、ドライプロセスでの、PVD、CVD、エッチングにおける表面形状予測が挙げられる。

連絡先：ペガサスソフトウェア株式会社
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