SEMICON Westも終わり、太陽がさんさんと照る、夏真っ盛りとなった。太陽の熱、太陽のエネルギーを強く体感する時期だ。今月の本誌は、先端プロセスの測定技術と太陽電池特集だ。ここのところの報道では、太陽電池は半導体および半導体製造装置メーカーにとって、既存の技術を応用した巨大な新しい市場が創出されたかのようにみえる。

　Electronic Newsによると、米Intel社の投資部門、米Intel Capital社は、CIS系太陽電池モジュールメーカー独Sulfurcell Solartechnik社に対して1億3370万ドルの投資を行うと明かした。Sulfurcellは、CIS/CIGSe系の薄膜材料を利用して、太陽電池モジュールを製造しているメーカーだという。Intelは6月に太陽電池事業を分離独立させて新会社の米SpectraWatt社を立ち上げており、今回のSulfurcellへの投資によってクリーンエネルギのポートフォリオを拡大することになった。同じ頃、米IBM社と東京応化工業は、新方式の太陽電池製造プロセスおよび大面積太陽電池モジュールの量産化プロセス技術を確立するために、共同開発を行うことを発表している。この2社は、非Si系の材料となるCIGSを利用した太陽電池モジュールの製造プロセス技術/材料/装置の開発を目指すという。

　また、米Applied Materials社は、薄膜太陽電池モジュール製造に対応した一貫生産ライン「SunFab」の導入を世界各国で進めている。2.2×2.6mの大型基板を採用し、一貫生産ラインに加えて、同社「SunFab Performance Service」では、SunFabラインの製造コストやアウトプットを保証するサービスを提供する。発電MWあたりのコストを継続的に削減していくという。

　国内では、東京エレクトロンが開発を進める薄膜Si太陽電池用プラズマCVD装置に対して、シャープが投資し合弁会社を設立している。昭和シェルソーラーはアルバックとともに、CIS太陽電池技術開発の強化に向けてリサーチセンターを設立。2011年稼動を目標として年産1000MW（1GW）規模の生産能力達成を目指すという。