MAGAZINE ARTICLES
このページをホームページに登録Editorial
450mmウェーハは必要ですか?
[2008年09月号]
ISMIのシミュレーションでは、サイクルタイムの短縮とコストの削減、生産性や稼働率の向上、さらにはロットのウェーハ枚数などが複雑に絡み合い、トレードオフになっている状況だという。同プロジェクトは、サイクルタイム50%短縮、コスト30%削減という目標には達しなかった。しかし、装置の段取りの時間の短縮や稼働率の向上、さらには枚葉式製造装置のスループットの向上とさらなる枚葉プロセスの導入でサイクルタイムとコスト削減を実現する可能性が高いことを示した。これには製造ライン側の効率化であり、装置側の地道な改良が寄与することになる。300mmプライムでは、300mmウェーハ導入時にトレセンティテクノロジーズが実現してみせたような、革新的な製造ラインの登場は考えにくい。450mmウェーハの実際の工場は2016年以降に完成すると見られている。それまでは「革新的なソリューションはなく、日々が戦いとなる」(サンディスク小池氏)。
ISMIディレクターScott Kramer氏がSemiconductor InternationalのDavid Lammersに語ったところによると、450mmウェーハ対応プロセスの R&Dに対して、現在さまざまなアプローチが模索されている状況だという。その中には、開発資金のサポートも含まれているようだ。これは、450mm化に賛成する“pro-450”の半導体メーカーが装置メーカーのR&Dをサポートするためにリソースを投じることが考えられる。Kramer氏は「何かしら行われなければならないという一種の緊迫感が存在している」とこの状況を説明している。
ご意見を聞かせてください
editor-si@reedbusiness.jp
SI Japan テクニカルセミナー
最近のテクニカルセミナー情報
-
Semiconductor International日本版
第21回テクニカルセミナー
『太陽電池を輝かせる製造技術~究極のエコ技術の現在と未来~』
-
Semiconductor International日本版
第20回テクニカルセミナー
『MEMS ルネッサンス』
-
Semiconductor International日本版
第19回テクニカルセミナー
「32nmを描くリソグラフィの選択肢
?Double Patterningか?直描か?」
セミナー関連記事はこちらから -
Semiconductor International日本版
第18回テクニカルセミナー
「DRAM 1ドル時代の量産技術
?装置とプロセスをどう制御するのか??」
関連記事はこちらから
EVENTS
-
第1回アナログセミナー「アナログICを選ぶ、使う」
2008年12月03日ー2007年12月03日
東京コンファレンスセンター・品川(東京・品川) -
航空宇宙産業技術展2008(AITEC 2008)
2008年11月27日ー2007年11月29日
名古屋市国際展示場(ポートメッセ名古屋) -
計測展2008 OSAKA
2008年11月26日ー2007年11月28日
大阪国際会議場(グランキューブ大阪)










