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Metrology and Inspection
[2008年09月号]
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●表面プロファイラ
P-6は、150mmまでのサンプルに対応し、小型で経済的な卓上型デザインでありながら、高度な半導体プロファイラをベースにして開発されたスタイラス表面プロファイラ。太陽電池の製造などの研究や量産段階でプロセスの品質を監視するのに必要な分解能、スキャン品質、および自動化機能を備えているとしている。低ノイズフロア設計により、微細なトポグラフィの特性を評価するための測定感度が向上しており、6Å以下の段差再現性が得られるため、厳密なプロセス制御が可能になっている。150mmのX-Yサンプルステージによって、シーケンス測定でウェーハ全体を検査可能であり、2Dストレス測定および解析によって欠陥を最小限に抑えているという。
連絡先：米KLA Tencor社
www.kla-tencor.co.jp
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