Applied E3は、半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池製造工場の生産性向上とコスト削減をもたらす包括的なFA（工場自動化）ソフトウェアパッケージ。独自のアルゴリズムに基づき、プロセス効率を30％以上高め、予定外のダウンタイムやサイクルタイムを短縮して全体的な装置効率を最大20％も向上させるという。装置オートメーション、データ収集、ロジック処理などの機能により、APC（自動プロセス制御）アプリケーションの構築、導入、保守が容易である。FDC（欠陥検出・分類）機能は、装置のパラメータを収集・分析し、装置のプロセス性能に関する問題について迅速にフィードバックして、生産性低下につながる予想外の装置停止を回避する。R2R（ランツーラン）制御機能は特許のフィードバックアルゴリズムを使い、リアルタイムでパラメータを調整してプロセス変動を低減し、アウトプットの一貫性、歩留まり、生産性を高める。EPT（装置性能トラッキング）機能は工場のあらゆるプロセス装置をモニターし、ビジュアルな統計レポートツールでボトルネックを識別して工場の生産効率を高める。

連絡先：米Applied Materials社
www.appliedmaterials.com