50年前の2つの出来事

[2008年01月号]

By 服部毅

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INTERFACE誌2007年秋号のカバーストーリーは、「FroschとDerickから50周年」。写真上から（1955年）FroschとDerickの2人、（1956年上）Shockleyのノーベル賞を祝うShockley研究所の人々、（1956年下）一環の終わり（Shockleyにあてつけのブラックユーモア）、（1960年）Shockley研を集団退職してFairchildを設立した「8人の裏切り者」、（1960年）世界初のFairchildロジックIC、（1968年）世界初のIntelの1k DRAM

　先月号で、還暦を迎えたトランジスタの発明にまつわる秘話を紹介した^1）。もっとも、還暦というのは中国暦に由来する表現であり、60歳定年制もない米国では60年という長さは特別の意味を持たない。しかし、50年は半世紀ということで、ひとつの区切りとしての意味がある。

　トランジスタの歴史に関して、いま米国で話題になっている50年前の出来事が2つある。

　ひとつは、「Frosch and Derick」であるが、これでぴんと来る人は、よほどの「トランジスタの歴史」通だ。INTERFACE誌（The Electrochemical Societyの会報）2007年秋号のカバーストーリーとして大きく採り上げられている（写真）。ベル電話研究所のFroschとDerickが連名で書いた「シリコン基板への拡散時の表面保護と選択マスキング」という画期的な論文^2）が1957年秋に発表されてからちょうど50年を迎えたということだ。選択拡散に関するこの基本的な論文は、今日の半導体産業の礎となっているプレーナ技術へと直結する最重要プロセス技術だ。

　もうひとつの出来事は、同じく1957年秋の米Fairchild Semiconductor社の誕生である。^3）前回紹介したShockleyは、実は経営者としての素質に欠けていただけではなく、人格的にも問題があった。^4）部下の研究テーマを思いつきでころころと変えたり、人前で部下を侮辱し罵倒する事件が日常茶飯事に起きた。これに嫌気をさしたShockley Semiconductor研究所の8名の部下が集団離脱した。「8人の裏切り者」（Shockleyは彼らを生涯このように呼んで恨んだ）は、米Fairchild Camera and Instrument社オーナーの出資で、小さな半導体メーカーを設立する。1957年は、彼らにとって生涯で最も面白いワクワクする年で^3）翌年、業界を出し抜くプレーナ技術を開発する。「選択拡散に用いた酸化膜をPN接合の保護膜として最後まで残す」のがミソだ（Froschらは酸化膜を最後まで残さなかったので、残念ながらプレーナ特許の発明者になれなかった）。

　その後、Fairchildを飛び出した「フェアチルドレン」たちは総計65もの半導体企業を創設してシリコンバレー興亡史を形成してゆく。Fairchildの創業に関わった「8人の裏切り者」のうちの2人、Robert NoyceとGordon E. Mooreは、10年余り後に再び離脱して、新会社を設立した。それが、いまや世界最大の半導体メーカーに成長した米Intel社である。

　トランジスタ発明から10年後に起きたこの2つの画期的な出来事が、今日の半導体テクノロジーとビジネスの基礎を築いたと言えよう。

参考文献

1．服部毅：「60年前のクリスマスイヴに」本誌2007年12月号.
2．C.J.Frosch and L. Derick:“Surface Protection and Selective Masking during Diffusion in Silicon,” J. Electrochem.Soc., 107,547 (1957)
3．Financial Times 2007年10月31日付記事　「Silicon Valley’s Founding Fathers」
4. “Frosch and Derick: Fifty Years Later”, INTERFACE, vol.17, no.3(2007)