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1月号 New Products
[2008年01月号]
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Process
●i線露光装置 NSR-SF155
連絡先：ニコン www.nikon.co.jp
●高エネルギーイオン注入装置 Optima XE
連絡先：米Axcelis Technologies社 www.axcelis.com
●枚葉洗浄装置 CELLESTA＋
連絡先：東京エレクトロン www.tel.com
●デバイス組立用プレーサー i-CUBE II D
連絡先：ヤマハ発動機 IMカンパニー www.yamaha-motor.co.jp
連絡先：ニコン www.nikon.co.jp
●高エネルギーイオン注入装置 Optima XE
連絡先：米Axcelis Technologies社 www.axcelis.com
●枚葉洗浄装置 CELLESTA＋
連絡先：東京エレクトロン www.tel.com
●デバイス組立用プレーサー i-CUBE II D
連絡先：ヤマハ発動機 IMカンパニー www.yamaha-motor.co.jp
Metrology and Inspection
●ウェーハ反り/ストレス検査装置 WASAVI シリーズ SK300
連絡先：レーザーテック www.lasertec.co.jp
●貫通電極エッチング深さ検査装置 WASAVI シリーズ TSV300
連絡先：レーザーテック www.lasertec.co.jp
●明視野ウェーハ検査装置 Applied UVision 3
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
連絡先：レーザーテック www.lasertec.co.jp
●貫通電極エッチング深さ検査装置 WASAVI シリーズ TSV300
連絡先：レーザーテック www.lasertec.co.jp
●明視野ウェーハ検査装置 Applied UVision 3
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
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『MEMS ルネッサンス』
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?Double Patterningか？直描か？」
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金属材料のマグネトロンスパッタリングにおけるアーク抑制
JPN-ArcSputmetal-270-01.pdf
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2008年12月03日ー2007年12月03日
東京コンファレンスセンター・品川（東京・品川） -
航空宇宙産業技術展2008（AITEC 2008）
2008年11月27日ー2007年11月29日
名古屋市国際展示場（ポートメッセ名古屋） -
計測展2008 OSAKA
2008年11月26日ー2007年11月28日
大阪国際会議場（グランキューブ大阪）
