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[2008年01月号]

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●PVD用クライオポンプ

 On-Board IS 8F XPは、米Brooks Automation社(日本法人へリックステクノロジー)のPVD装置用クライオポンプ。ガス吸蔵量比は従来機比でArガス、Nガスとも50%以上の増大、ArとNの混合ガスでは40%以上の増大を達成した。「On-Board IS 8F」シリーズとの互換性を確保しており、プロセスの再認証が不要。既存装置への置き換えが可能。MPU制御、高効率のHeマネージメント、再生時間、低消費電力など従来機種の長所を継承しながらPVDプロセス向けに性能を向上している。
連絡先:へリックステクノロジー 
真空機器部
www.helixtechnology.co.jp



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