TIによると、建物は環境への影響を少なくするために特別の注意を払って設計された。他のTIの半導体工場と違った特に有効な施設を創造するために、TIの技術者は米Rocky Mountain Instituteの専門家と共同で作業を行った。いくつかの注目すべき要点として次のものが上げられる。

■水害を防止し、そして灌漑時に使用するための雨水を集める貯水池を施設内に設置
■自然のままの草原の草と植物を残す（水撒きが不要で育てるための手間がかからない）
■都市のヒートアイランド影響を低減するためのコンクリートと反射用屋根板を設置
■水を必要としない小便器により年間4万ガロンの水を節約
■センサー内蔵の蛇口は小型水力タービンによって充電
■室内オフィス区域で蛍光灯の代わりに自然光を取り込む
■風力発電をもつ池の通気装置
■光センサーと運動センサーの使用
■需要により制御された空調
■事務所用ソーラー温水
■建設期間中、TIは90％以上の廃棄物をリサイクル。建物の構造内や装飾物にリサイクル材料を使用した

　建物のグリーン化には、長期稼働からくる利益を実現するために追加投資が必要だが、それは建設予算の1％以内である。新工場から6マイル離れたところにあり数年前に建設されたTIの既存工場と比較して、見積りで30％少ないコストで成功裏に建設された。このことは結果として、海外の半導体製造工場と比較しても米国内の工場が競争力を持つことを意味するとTIは述べている。

　TIのバイスプレジデントであるShaunna Black氏は、最近のITPC（International Trade Partners Conference）の講演で、最初の1年間で100万ドルの操業コストを節約し、20％のエネルギー低減により年間400万ドル以上の費用を削減、35％の水使用の低減、そして50％の排出の低減を可能にすると語った。

　LEED認定を目標にするその他の工場として米Intel社のFab32（米アリゾナ州チャンドラー）の45nmプロセス工場がある（図3）。エネルギーと水保護対策が取り入れられた、Intel社内で最も環境にやさしい工場といわれている。この工場は全体で熱放出を15％低減。米アリゾナ州の水保護対策とプログラムに準拠しているとIntelは説明する。Intelは同社最初の公式なLEED認定工場として認証を求めると語った。

　LEED認定を取得した半導体製造の最初の工場は、米Sandia社の3階建てのMESAマイクロシステム製造工場（MicroFab）だ。エネルギー効率の向上はMESAプロジェクト設計の不可欠な部分であり、これはMicroFab（図4）と近接するMicroLabビルの両方に提供されているより高度の効率的な公共施設を含んでいる。MicroFabは、高能力を持つ超高純度の水（UPW）の供給、水のリサイクル、冷却と洗浄工程へ再利用する装置を取り入れている。

　その他のグリーン化の特定評価項目としては、輸送手段を変えることによるアクセスのしやすさ、居住者が水を効率的に使用できる配管設備、少ない水使用に対応した造園設計などがある。リサイクル及び地元で生産された材料の使用と同様に、廃棄物の管理を通した資源保護がこのプロジェクトで強調されている。

　R&D施設もまたグリーン化に向かっている。米エネルギー省Lawrence Berkeley National Laboratoryに位置するナノ技術研究所であるMolecular Foundry（図5）は、LEED金賞の認定を取得した。Molecular Foundryの金賞に対する評価のなかで高い評価を得たのは、最適に設計された電気とHVAC装置、エネルギー効率の良い冷却機とボイラー設備、従来エネルギー消費が高いラボ、クリーンルーム、そしてサーバールームの革新的な設計などであった。Molecular Foundryは、すでに厳しい基準を持つカリフォルニア州の建造物エネルギー効率基準より28％少ないエネルギーの消費を達成している。Molecular Foundryは国のエネルギー基準より35％少ないエネルギーを消費しており、従来の施設より温室ガスの放出は85％少ない。

　「LEEDの等級のなかで、建物の維持に対しての全体的な外観の項目があり、これはエネルギー効率の項目より高い等級である」とMolecular Foundry のプロジェクトマネージャであるJoe Harkins氏は語る。「このファウンドリがBerkeley Labを建設して以来、最もエネルギー効率の良いビルの一つであり、また優秀な作業環境を提供している。日光の広範囲にわたる使用、可動可能な窓、低VOC材料を使った室内空気の質の保護、クリーンな建造に対する実行、すぐれた作業環境に寄与するすべてのものが提供されている。

　いくつかの実例のなかで最大の成功例としては、米Spansion社でのグリーン化の成功例が挙げられる。ISMIの講演で、Mike Frisch氏とMarcel Montalvo氏は、Spansionはごみの流れの運営を廃棄処理の代わりに再利用とリサイクルをすることにより環境性能を改善し、危険廃棄物の量を低減することでコスト低減を図るというゴールに2006年初期に切り替えたと語った。 　環境パフォーマンスは、最終的に生産活動（例としてフラッシュメモリー）の結果として作られた汚染量を測定する。Frisch氏は、汚染を少なくすることは、ゴミの流れを処理からリサイクルへ、リサイクルから再利用へ、再利用から低減へ、そしてプロセスを置き換えることにより廃棄物もしくは副生成物を発生させないようにすることであると述べる。Spansionにおける取り組みは、ゴミ処理のなかで処理よりは再利用とリサイクルに焦点が置かれた。 　<b>事例1</b>−−Spansionファブ25は、年間で約290万ポンドの使用済硫酸を発生している。この化学薬品は80％が硫酸で残りは低レベルの金属と有機物が混ざっている。この取り組み前は、未使用の硫酸を作るのに使用する原材料のなかに酸を戻しリサイクルする、硫酸の再処理工場に酸は輸送されていた。Spansionはリサイクルを行う運送費として1回当たり1140ドル使っていた。亜鉛めっきの企業が、未使用の酸の置き換え原材料として使用した酸を再利用する望ましい候補者として特定されたが、亜鉛めっきの企業は輸送に対する責任を負いたくなかったため、取引は成立しなかった。Spansionは、酸の再利用と輸送責任を負う工場を特定するために、製品管理の企業に接触した。工場のあるオースティンから100マイル以内で、全部の廃棄物を再利用できる、硫酸鉄を生産する工場を見つけ出した。Spansionは、年間4万2000ドルの輸送費を節約できるだけでなく、酸1t当たり10ドルが支払われている。それに追加して、Spansionは、分析にかかるコストで1回当たり400ドル削減し、認定のための鉄や薬品の分析が必要でなくなった。このプロジェクトに対して、節約、売上げ、コスト回避を合わせると年間で8万5000ドルになった。Spansionの環境パフォーマンスは、最終使用の工場への輸送距離の短縮、硫酸の再処理と製造プロセス両方、そして未使用の硫酸の輸送の削減によって生まれたエネルギー使用と汚染発生の削減の結果改善された。 　<b>事例2</b>−−Spansionファブ25は、ウェーハ乾燥工程で75％のイソプロピルアルコール（IPA）約20万7000ポンドを発生させている。この取り組み前は、IPAは他の廃棄溶剤と混合し、有害廃棄物としてオフサイトに輸送され、そしてヒューストンの化学製造工場で燃料として燃やされていた。Spansionは、工業用洗浄剤であるIPA廃棄物の分離、再梱包、再利用するため他の企業と協力した。このプロジェクトの結果Spansionは、廃棄処理コストを年間約1万2000ドル節約し、概算で年間1万5000ドルの売上げが、IPAの実際の売却により生み出された。追加として同社は、危険物廃棄で年間20万ポンド以上の材料に対して報告するものがなくなった。また、同社は、廃棄処理工場への輸送、廃棄処理のプロセス、未使用の材料の製造によって発生する、エネルギー消費と汚染を削減することによって環境パフォーマンスを改善した。 　ファブ25は、モーター機器のメンテナンスから、毎年使用済みオイル約5000ポンドを発生している。この取り組み前は、使用済みオイルは廃棄溶剤に混ぜられ、危険廃棄物としてオフサイトに輸送されていた。オイルのリサイクルメーカーは、無償で使用済みオイルを集めることに合意した。これでSpansionは年間250ドルの廃棄処理のコストを節約し、危険物廃棄報告のうち年間5000ポンド分を削減した。 　<b>事例3</b>−−Spansionファブ25は、新規のCu配線フラッシュメモリー技術の量産の結果として、2006年度に硫酸銅の排液を年間約8万2000ポンド発生させた。硫酸銅と硫酸廃棄物は、廃水処理工場へ危険廃棄として流れ出る。この特殊な廃水処理方法は、Cuを含んだヘドロを発生させ、危険廃棄物の埋め立てゴミとして処理される。同社は、廃棄物からCuを含む、価値のある金属を除去するための多段階のプロセスが使用できる、金属のリサイクル工場を完成した。硫酸銅の硫酸は、他から流入してくる水を中和するために使用され、使用されたバスは未使用の硫酸で置き換えられ、もはや危険物として報告もしくは評価をする必要がなくなった。 　プロジェクトに対するコスト削減の細部を表に示した（<b>表</b>）。廃棄処理の代わりに再利用とリサイクルにより、Spansionは、環境パフォーマンスにおいて大きな一歩を踏み出し、液体の廃棄コストを92％低減し、危険廃棄物を年間29万4000ポンド削減した。企業における継続した取り組みは、リン酸とエッジビード除去の再利用のような、さらなる機会を生み出し、年間15万ドルの節約と毎年発生する危険廃棄物を最大で50万ポンド削減した。