SDP-2600VTX/3000VTXは、液晶パネル（FPD）第8.5世代（2600×2300mm2）から10世代（3m角）ガラス基板に対応したアルバックのカラーフィルタ（CF）基板向けスパッタリング装置。同社SDPシリーズは、CF、PDP、STN-LCD、Black Matrix（BM）、メタル/オプト、太陽電池などの分野で使用されている。SDP-2600VTX/3000VTXは、このアプリケーションの中でも特にCF用ITO（Indium Tin Oxide）成膜に対応した縦型インラインスパッタリング装置となっている。

　同装置は、基板2枚同時搬送を実現し、プロセスの安定性、高使用効率カソードなどの特徴を持つ。2枚同時搬送技術では、30秒の高スループットと2倍の処理時間を確保した。専用移載システムには、リターン系に接続する着脱システムを採用したことにより、装置全長の短縮と従来に比べ早い動作による高スループットを実現した。この2枚同時搬送方式を採用したことにより、基板の処理チャンバ内滞在時間を十分に取ることが可能となり、安定な成膜プロセスが可能となったとしている。カソードには、揺動マグネット方式を採用。ターゲット形状および厚さの最適化を図っており、ノジュール（小塊）の発生を削減した。ITOターゲット寿命は約2倍に伸び、また50wt％以上の使用効率を達成した。

　標準価格はSDP-2600VTXが20億円、SDP-3000VTXが25億円。今後1年間で、両機種計5台の販売を見込んでいる。

連絡先：アルバック
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