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半導体業界の不透明感、北米半導体製造装置のBBレシオが裏付ける結果に (2008.04.28)

 半導体製造装置/材料の業界団体である米SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)は、2008年3月における北米半導体製造装置メーカーのBBレシオを発表した。それによると、同月における受注額(3カ月平均)は前月比4.0%減の11...


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Si貫通ビア: 量産準備は完了 (2008.05.01)

IDM、ファウンドリ、パッケージングハウスなどはSi貫通ビアプロセスの開発を進めている。しかし、製造コストの要求に対応するために更なる対策が必要とされているようだ。


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金属材料のマグネトロンスパッタリングにおけるアーク抑制
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