Semiconductor International日本版 第9回テクニカルセミナー
MEMS Manufacturability Investigation
〜MEMSの量産準備は整ったのか？〜

MEMS (Micro Electromechanical System) 市場のビックバンが間近に迫る。Digital Mirror Device (DMD) で花開いたMEMS技術は、自動車用加速度センサーや圧力センサー、RFデバイスなどから適用が始まり、今ではMEMS市場の年成長率は半導体デバイスをも上回るとされる。新しい市場の創出には、生産性・経済性が高くCMOSプロセスと互換性の高い製造装置・部材が必要とされていたが、ここにきて多くの新規MEMSデバイスが誕生し、それらがいよいよ量産フェーズに突入する兆しが見えてきた。しかしながら量産段階へと移行させるには、材料の標準化や量産に対応する製造インフラの構築が急務だ。MEMS製造プロセスの物理的な性質はいまだ研究レベルに過ぎず、プロセスが未成熟で、標準化も進んでいないとの声もある。また、MEMSのアプリケーションでは、まだ量産に結びつくような「キラーアプリ」はなく、設備投資および開発コストの観点から新しく参入したいメーカーにとっては参入障壁が高い。
　日本にある数多くのMEMSファウンドリが2007年以降に急峻に立ち上がると期待されている。バイオ関連やMEMS RFデバイスを含めとMEMSというひとくくりでは不可能な壮大な市場だ。しかし、一方でそんな「期待」ほど現状のビジネスは収益に結びついておらず、製造プロセスは多品種の量産に対応できるほど、成熟していない。今後は標準化も含め、産学官の取り組みが一層重要になる。
　Semiconductor International日本版は昨年11月にテクニカルセミナーを開催し、量産も見据えた次世代MEMS/NEMS製造技術を検証した。それから1年近くが過ぎたMEMSビックバンの「今」をMEMSプロセス技術の進捗にフォーカスし、イノベーションを生む業界のキーマンから話を聞く。

以下の講演プログラムは本日現在までに確定しているプログラムです。
追加講演の予定があります。追加講演が決定次第、プログラムを更新いたします。

日時	2006年11月28日(木)
開催時間	セミナー： 9:30〜17:35(受付開始：9:00)
場所	東京都　千代田区　九段北1-8-10　住友不動産九段ビル3・4F ベルサール九段（地図） 「九段下」駅「5番出口」徒歩5分（半蔵門線・新宿線）
参加料	39,800円（税込み・資料・昼食含む）
主　催	Semiconductor International日本版(SIJ)
本日までに決定している講演プログラム	■【開会の挨拶】 　Semiconductor International 　日本版編集長 　高橋　潤 氏 　＜9:30〜9:35＞ ■【次世代MEMSのキーテクノロジー】 　京都大学　大学院工学研究科 　マイクロエンジアニアリング専攻　教授 　田畑　修 氏 　＜9:35〜10:25＞ ■【"MEMS"―その産業化と将来展望―】 　オリンパス株式会社 　新規中核事業企画本部 　新事業企画部　アライアンスグループ 　専門部長 　横井　譲次 氏 　＜10:25〜11:15＞ ■【Productive Deep Si Etch】 　Aviza Technology 　Technical Marketing Manager 　Mr.Andy Bavin 　＜11:15〜12:00＞ 《 昼食 》 　＜12:00〜13:00＞ ■【Si製MEMSクロックの量産プロセスと信頼性】 　サイタイム株式会社 　カントリーマネジャー 　櫻井 俊二 氏 　＜13:00-13:50＞ ■【Hnadling and Stimulating MEMS devices】 　独Multitest Elektroniche Systeme 社 　Product Manager for singulated MEMS Test Solutions 　Mr.Arnfried Kiermaier 　＜13:50-14:35＞ ■【MEMS設計ソフト/インテリスイートの最新ソリューション】 　株式会社アドバンスト テクノロジー 　CAE技術部 　課長 　平出　隆一 氏 　＜14:35-15:15＞ 　《 コーヒー・ブレイク 》 　＜15:15-15:30＞ ■【3D Lithography and Bonding for MEMS Technologies】 　独Suss MicroTec社 　Technical & Marketing Manager 　Mr. Bill Crouch 　＜15:30-16:15＞ ■【住友精密のMEMS量産ソリューション】 　住友精密工業株式会社 　産業システム事業部マイクロテクノロジー・プロセス部 　部長 　田中　雅彦 氏 　＜16:15-16:55＞ ■【アルバックのMEMS向けソリューション】 　株式会社アルバック 　半導体技術研究所 第2部研究部 第2研究係　　 　神保　武人 氏 　＜16:55-17:35＞

以上の講演プログラムは本日現在までに確定しているプログラムです。

※ お問い合わせ先 E-Mail:sijseminar@reedbusiness.jp
電話番号：03-5775-6017