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春のフレッシュマンキャンペーン開始！27歳以下の方は特別価格¥10,500！
SIJ読者向け特別価格も始めました！

Semiconductor International日本版　第16回テクニカルセミナー
『低消費電力化に寄与する次世代トランジスタ形成技術』

　45nmプロセスの新時代に突入します。この世代の先端デバイスは、小型化を進めながらも、低消費電力化、高性能化、高機能化を図らねばなりません。半導体メーカーは、トランジスタ形成プロセス（FEOL：Front End of Line）において新材料、新構造、そして新しいプロセスを導入し、さらに低コストな量産プロセスの構築を迫られております。製造現場のエンジニアは、ゲート絶縁膜/電極にSiO2/ポリシリコンを長年にわたり使用してきましたが、これからの全く新しい材料の扱い方を学ぶ必要があります。さらに量産ではコスト効率面から歩留まりを十分高くすることが求められます。
　Semiconductor International日本版では、例年恒例の技術セミナー「FEOL Solution」を今年も開催します。今回はさらに一歩踏み込み、量産移行で直面する課題を解決するソリューションを読者・参加者の皆様と議論したいと思います。


終了しました
お申込み後、3営業日以内にe-mailにて受講票をお送りします。
万が一送られてこない場合は、受付が完了していない場合がございますので、セミナー事務局までご連絡下さい。 （事務局　e-mail :sijseminar@reedbusiness.jp）
日時 2008年4月11日(金)
開催時間 セミナー：9：55〜17：35
場所

〒108−0075　東京都港区港南1-9-36 アレア品川4F
東京コンファレンスセンター・品川　（地図）
JR品川駅港南口（東口）より徒歩2分

参加料 ◆一般＝\39,800
◆Semiconductor International 日本版読者＝\29,800
◆春のフレッシュマンキャンペーン対象者（27歳以下）＝\10,500
（いずれの料金も消費税、テキスト代、昼食代含む）
主　催 Semiconductor International日本版(SIJ)
本日までに予定している講演プログラム

■【次世代トランジスタの最前線】
Semiconductor International日本版編集長
高橋　潤
＜9:55-10:00＞

■【Global Technology Outlook】
日本アイビーエム株式会社
東京基礎研究所
サイエンス＆テクノロジー担当
川瀬　桂　氏
＜10:00-10:40＞

■【Advanced Materials, Processes and Devices for Front End of Line Scaling】
SEMATECH
Program Manager of our Advanced Dielectric and Electrode program
Paul Kirsch 氏
＜10：40-11：35＞

■【High-k絶縁膜材料のプラズマエッチング・クリーニング技術】
京都大学大学院
工学研究科
航空宇宙工学専攻
斧　高一　氏
＜11：35-12：15＞


◇◆◇ 昼食 ◇◆◇　(12:15 〜 13:15 )

■【ムーアの法則の維持に向けて】
米Mears Technologies社
President & CEO
Robert J. Mears. PhD
＜13：15-14：10＞

■【High-k/メタルゲートを用いたゲートファーストCMOS技術】
株式会社半導体先端テクノロジーズ（Selete）
第一研究部　フロントエンドプロセスプログラム
プログラムマネージャー
奈良　安雄　氏
＜14：10-14：50＞

■【High-k Chemicals in Memory Chip Applications】
米SAFC Hitech社
President
Barry Leese　氏
＜14：50-15：45＞


◇◆◇ コーヒーブレイク ◇◆◇　(15:45 〜 16:00 )

■【Single Wafer Wet Processes for New Front End of Line Technologies】
日本エスイーゼット株式会社
統括責任者　FEOLクリーニング
Glenn W. Gale, Ph.D
＜16：00-16：55＞

■【クラスターイオン注入の45nmメタルゲート/High-k Tr適用-Flash Lamp Anneal 活性化評価-】
日新イオン機器株式会社
I/I事業センター
エキスパート
丹上　正安　氏
＜16：55-17：35＞
協賛企業




※ お問い合わせ先 E-Mail:sijseminar@reedbusiness.jp
電話番号：03-5775-6017