DRAM 1ドル時代の量産技術～装置とプロセスをどう制御するのか？～

　業界再編の荒波が半導体産業に押し寄せている。得意分野への投資の集中、経営のスリム化を目指した合従連合の報せには事欠かなくなった。世界で勝ち抜くためには「効率」を最優先した経営戦略の実践が重要課題だ。

　製造現場でも「効率」が当たり前のように求められる。日進月歩で複雑性と繊細さを増す先端プロセスの安定性への要求に応えるためにAPC/AEC(Advanced Process Control/Advanced Equipment Control)の果たす役割は絶大だ。主要な製造装置メーカーはどこも何らかのAPC/AECを備えた装置を提供している。量産向上はインフラを変更して、様々な装置にデータをフィードフォーワード/フィードバックするために複数の情報源から情報を収集している。製造プロセスで発生する汚染、装置故障に起因する損失の回避、テストウェーハの最大限の削減などAPC/AECがCOO(Cost of Ownership)の向上に与える影響は大きい。しかし、理想的なAPC/AECの実現に向けてはデータの標準化への取り組み、リアルタイムのデータ検出および制御などハードルも多い。

　Semiconductor International 日本版では、半導体メーカーの競争力の源泉たるAPC/AECの先端プロセスでの取り組みを検証するとともに、Low Cost Manufacuturingの実態に迫る。

以下の講演プログラムは本日現在までに確定しているプログラムです。
追加講演の予定があります。追加講演が決定次第、プログラムを更新いたします。

日時	2008年6月5日(木)
開催時間	セミナー：10：00～17：00（予定）
場所	〒100-0005　東京都千代田区丸の内1-7-12　サピアタワー6F 東京ステーションコンファレンス　（地図） JR東京駅新幹線専用改札口（日本橋口）から徒歩1分、八重洲北口改札口から2分
参加料	39,800円（税込み・資料&昼食含む） Semiconductor International 日本版読者＝\29,800
主　催	Semiconductor International日本版(SIJ)
本日までに予定している講演プログラム	■【開会の挨拶】 Semiconductor International　日本版編集長　高橋　潤 ■【階層的品質管理とAEC/APC】 NECエレクトロニクス株式会社企画本部　経営企画部　シニア渉外プロフェッショナル本間　三智夫　氏 ■【DRAM　1ドル時代の半導体産業】株式会社オムニ研究所オムニTLO イノベーション推進本部本部長湯之上　隆　氏 ■【装置データ監視解析システム　導入から展開までの全解説】株式会社デュラシステムズ代表取締役社長売賀　賢介　氏 ■【成果を生み出すプロセス制御技術への取り組み（仮題）】富士通マイクロエレクトロニクス株式会社デバイス開発統括部　第一プロセス開発部担当部長河村　栄一　氏 ■MKS Instruments 講演者選定中

※ お問い合わせ先 E-Mail:sijseminar@reedbusiness.jp
電話番号：03-5775-6017

Semiconductor International日本版 第18回テクニカルセミナー 『DRAM 1ドル時代の量産技術 ～装置とプロセスをどう制御するのか？～』

Semiconductor International日本版　第18回テクニカルセミナー
『DRAM 1ドル時代の量産技術
～装置とプロセスをどう制御するのか？～』