MEMS (Micro Electromechanical System) 市場が急拡大の兆しを見せている。Digital Mirror Device (DMD) で花開いたMEMS技術は、自動車用加速度センサーや圧力センサー、RFデバイスへ応用され展開し、その年成長率は半導体デバイスを上回る。これから高度なMEMS製造技術が必要とされ、さらにNEMS (Nano Electromechanical System) の領域に突入し、CMOS技術と融合することになる。新しい市場の創出には、生産性・経済性が高くCMOSプロセスと互換性の高い製造装置・部材が必要だ。量産も見据えた次世代MEMS/NEMS製造技術を検証する。