Technical Channels Inspection, Measurement & Test
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Inspection, Measurement & Test 2007
NEC、電子線ホログラフィを応用して極浅接合を可視化 (2007.12.11)
AMAT、明視野検査装置「UVision 3」を発表 (2007.11.29)
2007年の顧客満足度で五つ星の半導体製造装置メーカー、VLSIが発表 (2007.11.28)
日本マイクロニクス、生産強化のため大分テクノロジーラボを増築 (2007.11.27)
産総研がスピン注入トルクの直接測定に成功、次世代MRAMの開発促進に期待 (2007.11.27)
レーザーテック、貫通電極エッチング深さ検査装置を発表 (2007.11.27)
STATS ChipPACが中国でのフリップチップ対応を強化 (2007.11.26)
AMAT、伊Bacciniの買収で単結晶Si太陽電池の事業を拡大 (2007.11.26)
レーザーテック、45nm以降に対応したパターン付きウェーハ反り/ストレス検査装置を発表 (2007.11.21)
HynixのChoi氏、「リソと後工程のコスト削減がカギ」 (2007.11.09)
ST、中国龍崗の後工程工場にて起工式を開催 (2007.11.08)
FormFactor、バーンインテスト用ワンタッチダウン対応300mmウェーハプローブを発表 (2007.11.07)
理化学研究所、高温超電導状態の電子波の可視化に成功 (2007.11.07)
日立製作所、強誘電体の分極構造を可視化するクーロン偏向STEM法を開発 (2007.10.02)
ASEとNXP、中国に半導体組み立て/検査の合弁会社を設立 (2007.10.02)
Keithley、1fAまで測定可能なI-V特性測定器などの販売を開始 (2007.09.25)
富士通研と富士通、はんだめっき中のPb分析手法を開発 (2007.09.18)
Silvaco、京都に技術サポートセンターを開設 (2007.09.13)
横河電機、DRAM量産用メモリーテスタの販売を開始 (2007.09.12)
アドバンテスト、北九州産業学術推進機構にSoCテストシステムを寄贈 (2007.04.23)
SIIナノテク、45nm対応のフォトマスク欠陥修正装置を発売 (2007.04.18)
KLA-TencorとClear Shape、 45nmの歩留まりの向上に向けて協業 (2007.04.17)
東芝、1nmの精度解析を実現したSSRM技術を開発 (2007.04.17)
アジレント、新型パラメトリックテスターを発表、 NAND型フラッシュへの対応を強化 (2007.04.09)
Agilent社、デバイスモデリング分野での拡大を目指す (2007.03.05)
テーピング包装済みIC製品の自動検査を可能にするX線検査装置 (2007.01.24)
アジレント、原子レベル分解能を有するAFMシステムの販売を開始 (2007.01.09)
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「32nmを描くリソグラフィの選択肢
〜Double Patterningか？直描か？」
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金属材料のマグネトロンスパッタリングにおけるアーク抑制
JPN-ArcSputmetal-270-01.pdf
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